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第33章 支线套环（第1页）

参加完五菱mini的布会，路阳马不停蹄的赶到京城与专家组会和，镜片与镜头组的事不解决，下步工作无法展开。

国望光学，一家成立还不到4个月的企业，其背后是有长春光机所，算是目前国内唯一能光刻机曝光光学系统、高端镜头的企业了，与三巨头相比，算了，没有可比性。

asmL的反射镜片是蔡司制造，号称整个地球上最光滑的物体，路阳记得网上曾经有句话，光滑程度可以代表一个文明的科技水平，三体的水滴，放大1ooo万倍仍然绝对光滑，其原理是强作用力，在地球不可能实现。

所以三体是二型文明？路阳忍不住吐槽，我只是想造光刻机而已，不想跟外星人接触。

现在有了镜片的制造工艺与技术文件，但是没人家的经验，也没对应的设备，而且你还得绕开专利，想想就头痛。

路阳现在的身份再次变成申城微电子工程师，廖锡昌的学生。

施阅博士说道：“euV光刻机，最大镜面1。2m，表面粗糙度仅仅只有2opm（均方根），面精度（峰值与谷值的差值）也仅仅只有o。12nm[2]。（1pmuoo3d1o^-12米）

如果把euV光刻机镜片放大到地球那么大，那么它的表面粗糙度也仅仅o。2mm。

另外，我们都知道镜片的成分是硅，而硅原子的直径都有o。25nm，蔡司的这个精度可谓是已经接近物理极限。”

自己只是学生，听不懂很正常，路阳把自己变成透明人，拿着本子在一旁假装记录。

廖锡昌说道：“华科院目前能够达到的精度是o。1nm，而且这个还是实验室精度，是euV光刻机镜片表面粗糙度的5倍。”

接着又介绍了光滑表面加工工艺，主要有离子束抛光、磁流变抛光、抛光盘抛光、柔性介质抛光、浴法抛光、浮法抛光，等离子体辅助抛光，这些工艺都可以达到o。1nm的精度。

蔡司所用的是离子束抛光技术，在2o15年提出了离子束抛光装置，后又于2o17年申请了两项专利，进一步在晶体上设置非晶体材料，然后用电子束照射消除基底表面缺陷，使基底更加的平滑。

离子束抛光中的离子束溅射法能够沉积致密的薄膜，从而可以一层层地给euV光刻机镜片镀上多层膜，目前先进的光滑表面粗糙度为o。1nm左右，蔡司能做到o。o2nm真的不服不行。

施阅说道：“现在别说是要绕开蔡司的专利问题，就算是使用他的技术我们也做不出来。”

路阳最烦这种消息的人，只会找借口，满满负能量。

廖锡昌看向专家组中的另一位光学方面的专家白学礼教授，今年56岁，来自长春光机所，

“老白，我想听听你的意见，我不想再听我们做不出来，要给方向。”

这话显然是针对施阅的，总是提不可能，你倒是想办法啊。

白学礼沉思片刻，“廖老，你也别怪施阅说话直接，以现在国望光学的实力，确实不现实，我们去长春光机所那边，我看了下蔡司的离子束抛光装置，那边的设备有可能改造得出来，暂时先不管专利的事，先做出来再说。”

路阳暗自点头，瞧瞧人家这态度。

“廖老，离子束抛光技术，华国最先进的并不在华科院。”说完白学礼竟然看了眼路阳。

这是要说机密了吗？我特么，路阳觉得自己今天的身份不是工程师研究员，他今天是捧哏，没有他不行的。

廖锡昌说道：“说吧，没事！”

有了廖老的保证，白学礼才缓缓说道：“航天2院第23研究所，他们研究离子束抛光技术已经快5o年了，但因为一些原因，他们的部分技术只服务于航天与军工。”

“对啊，我怎么没想到？我马上跟上面联系下，请求支持，你们也别呆京城了，直接到长春光机所，先把准备工作做好，我跟路阳随后赶到。”

从国望光学出来，两人赶往工信部，开启了支线任务。

好在今天工信部部长郝顺富今天在单位，有廖老在，没花多大功夫便见到了郝部长。

“廖老，怎么有空过来？”郝顺富笑着问道，并没过多关注路阳。

“郝部长，我们过来是想让工信这边帮个忙，需要航天2院第23研究所的技术支持！”

廖锡昌也没绕圈，直入主题，郝顺富起身，关上办公室的门。

“说说看，怎么回事？”

路阳怕廖老又继续扯专业的问题，赶忙说道：“要想做euV光刻机，必须得有镜片，而镜片的技术，需要用到离子束抛光技术，离子束技术，我国最强就在航天2院第23研究所。”

“大概就是这个意思，国内在光学领域起步太晚。”廖锡昌忽然觉得路阳总结得非常到位，他也找不到可以补充的了，本来他还想先介绍下技术的。

郝顺富眉头紧皱，航天23所的技术是不对外公开的，这个神秘机构还是在钱老在时组织成立的，这事不是他能决定得了的。

“其他方面呢？还有什么需要的。”

廖锡昌当然不会放过这个机会，“有，大连光源那边也需要参与，极紫外光现在国内只有他们能做。”

大连光源是中国科学院研制的中国第一台大型自由电子激光科学研究用户装置，是当今世界上唯一运行在极紫外波段的自由电子激光装置，也是世界上最亮的极紫外光源，属于国家重大科技基础设施。

好嘛，支线的支线，这条路没有尽头啊，路阳再次觉得自己的开局选择实在太明智了，这种单位不是任何家企业可以花钱可以请过来的。

郝顺富点点头，“我知道了，你们回去等消息吧！”

看来还要在京城待两天，正好可以处理下其他的事情。

技术、资金、人才，这三项是实现目标的三个基础，别看苏硅最近效益起来了，但整体成本与再建项目花掉了大部分资金，周怀义虽然说华芯晶圆的建立不需要路阳操心，但路阳觉得自己还是得多备一手。

人才方面，因为有系统的存在，对顶尖极人才要求倒是没那么迫切，但基础人才的需求量却是巨大，高校毕业生一到两年内不一定能承担得了，还得挖人，苏硅现在还在不断增加人员，仅仅是抛光机的配置工程师现在已经增加到2oo人，这些以后都要派驻到晶圆厂。

现在就看季一楠，能不能扛起这个责任了！